工具镀膜机

MDARC650/700/1000

广泛应用于工具、刀具、模具、零部件、医疗器械、等行业。可镀制AlTiN、TiAlN、AlTiXN、AlCrN、AlCrXN、TiSiN、CrN、TiN等氮化物涂层，Ta-c、类石墨、Cr+a-c、Cr+a-c:H、W+a-c、W+a-c:H等碳基，Cr+a-c:H、CrN+a-c:H等涂层。

1、工作温度室温-550℃      2、腔室直径 650/700/1000mm3、电弧源D100/ D160 /  4、真空条件极限真空≤1×10-4Pa 5、工作真空≤5×10-3Pa 6、工艺周期关门到开门4~5h TiN：2~2.5um TiAlN：2~2.5um TiSiN：2~3.5um 7、设备配置分子泵 脉冲偏压电源 PC智能控制系统；8、镀膜区间450/550/800；