可实验膜层种类
1.用于开发纳米级单层、多层及复合膜层；
2.用于制备金属膜、合金膜、半导体膜、陶瓷膜、介质膜、掺杂膜、超导膜、等，例：金、银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等；
3. 可用于多靶单独溅射、依次溅射、共同溅射；